卡位18吋台积三星英特尔激战台积投资410亿冲先进制程
台积电昨(5)日宣布,将投资晶片设备商艾司摩尔(ASML)11.14亿欧元(约新台币410亿元),加速下一世代关键技术极紫外光(EUV)与18吋晶圆微影设备开发及量产,成为继英特尔之后,第2家加入投资ASML的半导体大厂。
台积电将斥资8.38亿欧元(约新台币308亿元),取得ASML5%股权,并承诺未来5年共投入2.76亿欧元(约新台币102亿元),支持ASML的研发计画。台积电截至第2季底,手中现金及约当现金约1,784亿元,投资ASML资金不虞匮乏,但这项投资案的总金额也高达手上现金约25%。
这是台积电继投资从事电子光束研发的美商Mapper后,第2宗大手笔投资设备商且资助其先进设备研发的行动,宣示台积电跨入18吋晶圆生产的决心。台积电上周五收盘价79.8元,小跌0.2元。
ASML发出的投资邀约对象中,已获得英特尔、台积电正面回应,以英特尔出资33亿欧元(约新台币1,214.4亿元),取得ASML15%股权,并协助ASML研发,手笔最大;台积电投资的规模,仅约英特尔的33%。同样收到ASML投资邀约的三星,尚未表态。
台积电董事长张忠谋先前曾表示,「台积电没有投资ASML的急迫性」,让市场一度以为台积电可能不考虑参股ASML。据了解,台积电近1个月突然加速与ASML会商,昨天正式达成协议并签约,台积电也立即对外宣布这项合作案,但并未透露何时完成入股ASML。
这项合作案是由台积电执行副总经理暨共同营运长蒋尚义,与ASML执行长艾瑞克(EricMeurice)签订。蒋尚义表示,台积电挹注ASML研发经费,将确保并加快EUV微影技术的开发,同时也能提高既有光学微影工具的效能,促进18吋晶圆制造技术的快速发展。
台积电预期,与ASML合作开发下一世代关键设备,将有助半导体产业控制晶圆成本,突破缩小IC尺寸所面临的挑战,保障摩尔定律持续演进可带来的经济效益。这也是台积电与ASML先前共同开发193微米浸润式微影技术之后,双方长期合作关系的延伸。
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